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嚴偉，男，1977年2月生，研究員，博士生導師，四川省杰青，國家科技專(zhuān)家庫專(zhuān)家，西部之光聯(lián)合學(xué)者，首屆青促會(huì )會(huì )員，中國科學(xué)院光電所青年創(chuàng )新人才。2000年至今一直在中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所“微電子裝備總體研究室”工作，主要研究集中于微電子裝備研制，以及相關(guān)微納光學(xué)、光學(xué)測量的關(guān)鍵技術(shù)研究工作。
近5年承擔的科研任務(wù)包括：作為總師完成國家科技重大專(zhuān)項課題“下一代193nm光子篩聚焦無(wú)掩模光刻關(guān)鍵技術(shù)”；主持國家自然科學(xué)基金面上項目、四川省杰青基金、西部之光項目、院裝備項目等科研任務(wù)。獲中國半導體行業(yè)協(xié)會(huì )半導體創(chuàng )新產(chǎn)品和技術(shù)獎1項、四川省科技進(jìn)步二等獎和三等獎各1項、中國煙草總公司科學(xué)技術(shù)發(fā)明獎三等獎1項。發(fā)表科技論文40余篇（第1作者10篇），發(fā)明專(zhuān)利16項，軟件版權2項（第一申請人8項，授權發(fā)明專(zhuān)利11項），培養研究生15名（獨立執導碩士3名，博士6名）。
個(gè)人主頁(yè)：http://people.ucas.ac.cn/~yanwei
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